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在制造過(guò)程中，半導(dǎo)體的表面由超純水清洗以去除那些會(huì)導(dǎo)致金屬腐蝕的剩余強(qiáng)酸性離子。清洗水中所含離子的分析對(duì)于質(zhì)量管理非常重要。
這需要在億分之幾 (ppt)的等級(jí)進(jìn)行離子檢測(cè)。這里顯示的是用離子色譜儀對(duì)半導(dǎo)體清洗水中微量離子的分析圖。
我們的 GC 解決方案包括使您能夠成功進(jìn)行氣相色譜分析的氣相色譜分析儀、進(jìn)樣器、檢測(cè)器，色譜柱、自動(dòng)進(jìn)樣器以及軟件。
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